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緊湊型主動(dòng)隔振平臺(tái)STACIS IIIc
STACIS IIIc是STACIS III**主動(dòng)隔振系統(tǒng)的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)STACIS III系統(tǒng)的高度會(huì)使儀器過(guò)高。
在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規(guī)STACIS III高度的60％。在具有3個(gè)以上隔離器的系統(tǒng)中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負(fù)載設(shè)置。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參見(jiàn)下面的規(guī)格。
STACIS IIIc優(yōu)勢(shì)
與常規(guī)STACIS III系統(tǒng)相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒(méi)有降低。
STACIS比空氣隔振器堅(jiān)固數(shù)百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒(méi)有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。
串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高力壓電技術(shù)
可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的**主動(dòng)隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
緊湊型主動(dòng)隔振平臺(tái)STACIS IIIc 性能規(guī)格
規(guī)格
| 主動(dòng)自由度 | 6 |
| 主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間 （減少10:1） | 0.3秒 |
| 內(nèi)部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求
| 環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
| 主動(dòng)隔振元件 | **小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
| 被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
| 振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓 |
| 主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地面振動(dòng) |
| 隔振器尺寸（寬x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 隔振器重量 | 53磅（24千克） |
| 工作溫度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 儲(chǔ)存溫度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 濕度 | 30 - 60% |
| 系統(tǒng)電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn) |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量 | 至少3個(gè) |
| 可選附件 | 層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩 |
